二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9212477 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备，以单一的集成封装提供全面的计量测量。该系统利用X射线、光学和激光技术，对不同制造阶段的半导体晶片进行精确检测和测量。KLA OP 2600具有大型自动化测量室，为精确和可重现的测量结果提供稳定的测量环境。该单元利用激光驱动的光学投影来读取和比较定义晶圆上关键特征和光掩模的参数和详细尺寸。此外，该机利用X射线检测技术获取晶圆表面的高分辨率图像，以详细评估表面光洁度、形状、特征尺寸和表面清洁度等特性。这种设备非常适合用于半导体制造过程，因为它在各种晶圆尺寸上提供了快速和全面的芯片测量和测试能力。通过增加激光扫描显微镜、扫描电子显微镜和原子力显微镜功能，这一工具被设计为易于扩展。内置软件功能包括数据处理、缺陷识别、测量和比较。TENCOR OP 2600具有直观的图形用户界面（GUI），可用于快速、轻松地生成被检查晶圆的3D图像。GUI还提供分析和数据输出,以协助质量控制和研究活动。该资产符合晶圆测试和计量行业的最高ISO标准,面向希望进行自动化和精确计量的客户。几十年来，THERMA-WAVE OP 2600一直是一系列半导体制造工艺质量控制的基准。该模型利用最新的激光和X射线技术提供了卓越的计量精度和重复性。利用这种设备，客户可以获得可重复和可靠的测量结果，同时大大减少晶圆检验和计量所需的时间和成本。