二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9214770 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备，能够在半导体器件上进行临界测量。这种高度精确的系统用于研究和开发下一代芯片和集成电路。它利用两种光学器件测量晶片，包括自动扫描光学显微镜（ASOM）和白光干涉仪（WLI）。ASOM能够产生半导体器件表面的2D轮廓图像和3D地形图。它具有高达1 nm的高分辨率,同时还能够区分垂直高度小至10 nm的特征,从而实现高精度和精确度。WLI是一种依靠反射光干涉来创建曲面3 D映射的成像技术。它还能够揭示在光学显微镜下看不到的微观特征和表面粗糙度的三维形状。WLI的分辨率为40nm,可用于测量0.2nm-2.0nm之间的粗糙度。KLA OP 2600由ProgRScan程序供电，ProgRScan程序是专门为晶圆和设备研究而设计的软件包。它能够控制和同步ASOM和WLI,并集成了特征识别、参数测量和数据分析等几个功能。它还允许不同的分析方法，如回归分析、直方图分析和主成分分析。此软件设计为用户友好,允许将结果轻松导出到制造商生产线中的其他过程中。TENCOR OP 2600单元也是全自动的，允许大幅增加测试吞吐量，同时也提供可重复的结果，而不需要用户的努力。使用此机器的自动化流程还有助于减少与手动流程相关的错误。此外,它还能够显着减少周转时间和操作成本,例如设备开发和生产测试。总体而言，THERMA-WAVE OP 2600晶圆测试和计量工具为设备和半导体研发提供高精度测量。它能够可靠地以很高的分辨率测量晶片，提供开发前沿芯片和集成电路所需的精度和细节。此外,它的自动化流程有助于减少错误、减少周转时间和提高盈利能力。