二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9215499 待售
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已售出
ID: 9215499
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Film thickness measurement system, 8"
SMIF System: (2) Indexers
Handler system: Robot unit
NANOMETRIC / ACCENT Q240AT
1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备。它提供了一个全面的封装,非常精确地测试晶片直径达200毫米。其独特的特点允许快速可靠地检测广泛晶圆结构中的缺陷。KLA OP 2600系统利用先进的光学和激光计量工具进行测试。光学单元采用三件式固定光学机器,提供分辨率、可重复性和精度。激光工具能够测量各种参数,如反射率、晶圆轮廓、形状、厚度、表面粗糙度等。此外,软件体系结构中包含的几种软件算法有助于分析图像,并提供广泛的数据处理功能。该资产能够使用获得专利的多晶片持有者同时自动测试多个晶片。这使得晶圆测试和质量保证过程更容易、更快。软件套件使数据采集和数据处理自动化,从而能够在当天交付测试结果。TENCOR OP 2600也可以使用光谱学和表面分析等非接触计量技术的选择来表征晶片。这使得它能够为各种各样的晶片结构生成准确的数据,包括标准硅片、SOI(绝缘体上的硅)晶片、STI(浅沟隔离)晶片、MEM(微机电模型)晶片等等。THERMA-WAVE OP 2600的设计是为了承受恶劣的环境条件。该设备配备了自动清洁系统,并利用环境友好型液体清洁解决方桉确保测试不受污染。此外,该系统还符合各种安全法规(如EMC指令),允许在使用该设备时放心。总体而言,OP 2600是一种理想的晶圆测试和计量机器,用于需要精度、速度和精度的制造过程。其先进的光学和激光计量能力以及环境合规性使其成为任何实验室或生产设施的可靠和有价值的补充。
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