二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9250104 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备，用于硅片的表征。该系统设计用于测量单个晶片的厚度、折射率、介电常数和其他参数。它能够在单个过程中测量150 mm和200 mm晶片,减少周期时间并减少维护停机时间。KLA OP 2600支持折射率、厚度、侧壁、厚度均匀性、介电常数、粘附膜水平、屏障层均匀性、平整度、基板质量、反射率、粗糙度等多种测量。这些测量是在可变频率和角度上执行的,从而可以获得更广泛的表征结果。此外，该单元还配备了各种自动补偿技术，以实现恒定的可重复性和精确度。该机器能够同时处理多达四个晶片，温度从室温到500 °C不等。它包括一个加热的阶段，允许测量高达500 °C的温度。该工具还支持实时数据采集、分析、诊断和控制功能,从而实现更高效和优化的流程。该资产还包括激光干涉测量，一个精确的方法来测量晶圆的光学厚度。TENCOR OP 2600包含错误检查工具,并提供可定制的预后处理软件,以帮助加快生产时间。该型号配备了自动校准站，确保了准确性和可重复性，并消除了手动校准步骤。此外，设备还包括操作员控制台和光条图，以便向用户提供反馈。总体而言，THERMA-WAVE OP 2600是一种功能强大的晶圆测试和计量系统，使专业人士能够在单个晶圆上快速准确地测量各种参数。其多功能性、准确性和可重复性使其成为硅片表征的宝贵可靠工具。