二手 KLA / TENCOR Therma-wave OP 3290DUV #9139673 待售
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KLA/TENCOR Therma-wave OP 3290DUV是一种最先进的晶片测试和计量设备,能够准确快速地测量晶片的均匀性,以保证精确的输出。它是一种晶圆光学剖面仪,具有极高的精度和极低的拥有成本。它具有独特的优点,即能够读取正向(凸起)曲面和负向(凹入)曲面上的任何类型的晶片,以确保对各种应用进行精确的测量。Therma波利用先进的波长选择和扫描光学技术来收集三种光度信号:红色、绿色和紫外线。先进的光学器件提供高分辨率、稳定的测量和最小的阵列变化。然后收集和分析三个光度信号,从而提供有关晶圆条件的信息。该系统随后采用双蓝光探针技术,结合三波长功率平均技术,进行最佳测量,消除测量晶圆时出现人为错误的可能性。这样可确保任何类型晶圆的准确率高达0.5um。KLA Therma-wave OP 3290DUV还采用了一种精密控制的玻璃空气承载装置,可最大限度地减少振动,从而实现安全、长期的精度。该机器配备了全自动晶片处理,允许多达20个晶片同时进行测试,无需人工。这样可以实现更快的输出率和精度,从而保证晶圆测试成功。晶圆测试的关键数据由包含的分析软件处理,该软件有多种语言版本。软件可以制作详细的质量保证报告,为快速、可靠、高效的生产提供质量和产量优化的客观评估。此外,该软件还具有自动学习和自我校正模型,以确保数据准确无误。TENCOR Therma-wave OP 3290DUV是保证任何晶圆精确测量的理想解决方桉。该晶片光学剖面仪采用先进的光学选择、精密控制的玻璃空气承载工具、自动晶片手柄和多种语言,提供快速、准确的晶片测试和数据处理,拥有成本最低。
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