二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9200133 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV是一种晶圆测试和计量设备，设计用于先进的深紫外线（DUV）成像和检查。它为领先的半导体器件生产提供了改进的工艺控制、产量和上市时间。KLA OPTIBE 2600 DUV系统将先进的光学元件与全反射、遥感成像和光谱显微镜单元结合在一起，使其具有高分辨率、高通量、高于平均动态范围的组合。这为难以成像的应用提供了卓越的图像质量和动态范围,例如需要低级检查和迭加的应用。该机还配备了先进的光学工程包，在飞行箱底座上提供高性能光学。它具有快速设置和快速转换的低振动设计、优化的光路以及先进的多轴定位工具。资产还包含一些先进的计量能力，旨在最大限度地提高过程控制和产量改进。它包括：自动化晶圆计量学，可与全场系统相媲美，但由于其一系列的过程监测器而具有更强的多功能性。本地化计量，使计量操作的目标区域的晶圆提高精度和速度。动态焦点跟踪算法，提供了更好的图像质量，提高了设备特性的精度。一种集成的高性能成像，便于在模型和其他分析工具之间传输图像，以进一步分辨率和清晰度。TENCOR OPTIBE PROBE 2600DUV设备是先进的DUV成像和检查的理想解决方桉,可提供高效的处理,帮助实现关键半导体应用的最大产量和上市时间。它为各种流程提供卓越的图像质量和动态范围以及先进的计量功能,并且是确保质量、产量和成本效益的强大工具。