二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293671329 待售

ID: 293671329
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600晶圆测试和计量设备是一种可靠、先进的晶圆测试和计量系统,旨在监测和控制半导体制造过程。KLA Optiprobe 2600配备了先进的光学成像单元,使其能够以高分辨率和准确度分析晶片。先进的光学成像机具有多种方法,如点检查、表面成像、激光映射和粒子测量,以表征特征大小、层厚度和表面粗糙度。TENCOR Optiprobe 2600生成的晶圆图包括晶圆不同特性的汇总视图,以及每个单元单独测量的不同显示。测量结果的显示使用户能够快速识别晶圆不同部分之间的性能变化区域。为了进一步确保晶片的质量和均匀性,THERMA-WAVE Optiprobe 2600包含了强大的数据分析软件包。这个数据分析软件提供了一套综合工具来分析晶圆图,用于检测异常、污染和过程转移。该软件包还支持多种文件格式,使用户能够轻松地合并外部过程控制参数和分析。Optiprobe 2600还与一系列扫描电子显微镜(SEM)兼容,用于高级工艺监控。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600与SEMs的结合被称为SPM(扫描探针显微镜),提供了半导体制造过程中表面纹理的最高分辨率测量。除了提供一套全面的测试分析工具外,KLA Optiprobe 2600也是一个易于使用的工具。图形用户界面直观,允许快速访问不同的测量显示。这使得用户可以轻松快速诊断生产异常并采取纠正措施。TENCOR Optiprobe 2600是一项可靠、先进的晶圆测试和计量资产,使半导体制造商更容易监控生产过程并确保最优质的产品。THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有光学成像模型、数据分析功能以及与SEM的兼容性,为监测晶圆制造过程提供了一种有效的方法。
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