二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293673758 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一种先进的晶圆测试和计量设备。它用于半导体行业内外的应用，允许用户快速执行各种任务，帮助他们确保产品质量的最高水平。KLA Optiprobe 2600具有先进的粒子和电表征能力，可以精确测量晶圆的介电特性。它采用光学显微镜、步进器和电光成像系统的组合，设计用于精确捕获分辨率小于0.2微米的介电图像，用于晶圆表面的亚微米视图。该单元利用光学临界尺寸（OCD）检测来测量晶圆上的线宽和小至0.225 μ m的空间。其C-Knife技术使用模板匹配过程，以预先确定的高度、深度和宽度要求来测量关键设计特征和检测缺陷。该机还能够测量电阻率、宽度、薄片电阻和其他参数，以帮助确保低产量和工艺变化。TENCOR Optiprobe 2600可以对外在和内在参数，如灵敏度、带宽、精度和可重复性执行几项校准任务，以确保其测量始终在点上可靠。它还配备了一个名为KLA Process Monitor的软件包,用于测量各种制造参数以快速优化产量。总体而言，Optiprobe 2600是一种高度先进的晶圆测试和计量工具，利用高端光学、电光和光学临界尺寸检测器来测量和分析晶圆。它具有先进的功能和准确的测量参数,可帮助用户确保产品质量达到最高水平。