二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293828327 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一款晶圆测试和计量设备，旨在满足当今半导体行业的测试和计量要求。该系统结合了光学、扫描电子显微镜（SEM）和热分析这三项主要技术中的最佳技术,为半导体晶片和硅器件的测试和表征提供了全面的解决方桉。KLA Optiprobe 2600采用了获得专利的双选项显微镜设计，使得在光学和电子显微镜研究之间进行切换成为可能。这允许用户执行全晶片测试和多个模具分析，包括故障分析和缺陷分类。该设备配备了先进的光学显微镜，可提供高达4K的图像分辨率，并且在自动检查和分析大小特征方面具有出色的灵活性，而无需手动调整显微镜。该机还可用于测量模模对准，允许跨晶片保持精确对准，以及高通量异常检查和高精度宏微缩放。TENCOR Optiprobe 2600先进的SEM可以达到5 nm的分辨率，捕获缺陷的高分辨率图像和3D表面地形。此外,SEM还具有电压、电流和级定位控制功能,允许进行表面映射、成像和脉冲测量。该工具还具有用于表征半导体器件特性的专有热分析控制器。这一资产可达到0.06°K的精度,并可在-150至+300°C的温度范围内提供功率和热特性的数据采集功能。这三种先进技术的结合使THERMA-WAVE Optiprobe 2600成为晶圆测试和计量的理想工具。该模型提供了可靠且可重复的器件性能测量以及由此产生的模具级和晶片级产量提高计划。