二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9212840 待售
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ID: 9212840
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Film thickness measurement system, 8"
Handler type: 200 mm Open
Upgraded SBC to Pentium III 600 MHz
Increased HDD capacity to 6 Giga
Non-pattern measurement
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
1995 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一种先进的晶圆测试和计量设备,能够对各种半导体晶圆表面的电性能波动进行高精度测量。该系统旨在实现测量过程的自动化,使其比手动显微镜的手动检查更加高效和准确。KLA Optiprobe 2600配备了嵌入式视觉单元,有助于简化操作过程并提供更好的效果。TENCOR Optiprobe 2600由三个模块组成:成像模块、测试仪模块和测量模块。成像模块有一个CCD摄像头,用于成像和检查晶片表面是否有缺陷。测试仪模块有一个测试室,能够同时提供来自多个子测试仪位置的各种电气测试。测量模块是一个集成的测量解决方桉,包括高效和准确的测试和计量操作所需的所有组件。THERMA-WAVE Optiprobe 2600平台还配备了KLA WINTEST软件,允许用户自动化测试过程。WINTEST软件可用于设置机器参数、控制测试过程、分析测量数据以及配置多个测试设置。此外,Optiprobe 2600设计为与业界标准的TENCOR S2K软件完全兼容,使客户能够在不同领域使用相同的软件。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600设计为提供准确的结果,高精度测量分辨率0.02 µm。它能够测试多种晶圆类型,包括单层、双层和多层晶圆。此外,KLA Optiprobe 2600适用于在要求最苛刻的生产环境中进行表面剖面测试和计量的工艺和资格监控。TENCOR Optiprobe 2600提供晶圆测试和计量方面的最高性能。它最大限度地提高测试和计量操作的效率,同时提供可靠和准确的测量。该工具非常适合探针、工艺工程师和其他半导体专业人员寻找一种简化而有效的晶圆检测方法。
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