二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9257351 待售

ID: 9257351
Film thickness measurement systems.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一种先进的晶圆测试和计量设备,能够对半导体器件进行高精度测量。KLA Optiprobe 2600提供半导体晶圆和模具级特性的实时、边到边计量。该系统具有8英寸的chucky级,可容纳200毫米晶圆。其光学散射法采用干燥技术,加上独特的化学清洗方法,不需要液体浸泡装置。TENCOR Optiprobe 2600包括一个级控制器,用于精确控制晶圆在x、y、z轴的运动。它还采用了高分辨率映射模式,能够进行极其详细的测量。集成成像机为优越的光学设备提供照明、亮场、暗场和倾斜成像能力。该成像仪提供1300万像素的分辨率和大于1微米的像素,用于详细的成像结果。THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有"智能"软件包,可自动执行工具校准的优化、测试参数的优化以及功能的实时对齐。此工具还使用户可以访问历史数据和报告,以及实时数据可视化。高级数据分析功能使用户能够准确确定与特征大小、形状和位置相关的过程性能。Optiprobe 2600是需要高性能、高精度和卓越可重复性的用户的理想计量和测量资产。该模型提供了可靠的测量结果,具有高度的可重复性。此外,可以容纳各种各样的晶圆尺寸和化学涂层,使这种设备适合各种应用。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有先进的自动化能力、最小化的人工干预时间和直观的软件操作,是半导体晶圆测试和计量操作的绝佳选择。
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