二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9364392 待售
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一种最先进的晶圆测试和计量设备,提供最先进的晶圆分析和测量能力。KLA Optiprobe 2600使用获得专利的激光技术，对直径从100毫米到300毫米不等的半导体晶片进行精确、非接触的测量和分析。有了各种各样的测试和测量，系统允许用户在特性、晶体管和集成电路级别检查每个晶片。板载激光技术使TENCOR Optiprobe 2600能够检测广泛的表面特征，包括晶圆缺陷、粒子污染物、电阻率、表面粗糙度和电性能。这种原位分析使用户能够快速准确地识别对晶圆制造至关重要的工艺参数。此外，该单元还让用户在工艺开发或故障排除过程中确定栅极氧化物的厚度、接触金属化、光刻胶层等材料。Optiprobe 2600配备了一个软件控制的扫描头，可以以各种模式在晶片上移动激光，允许用户精确地沿着复杂的路径穿过晶片表面，测量详细的特征级参数。它的高分辨率照相机也使用户能够对晶圆表面进行精确的视觉检查。这种测量和成像功能的结合使THERMA-WAVE Optiprobe 2600成为过程开发、产量优化和晶圆表征的宝贵工具。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600在紧凑、易于使用的平台中提供顶级晶圆测试和计量功能。它旨在满足对准确性和可靠性的严格要求,使其成为质量保证、过程监控和降低成本计划的理想选择。KLA Optiprobe 2600具有广泛的特性和功能,是当今最先进的半导体制造操作的理想晶圆测试和计量解决方桉。
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