二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9200135 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9200135
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是一种晶圆测试和计量设备,设计用于最高精度的半导体测试和自动化计量。它结合了视频和光学等多种技术,以精确测量半导体晶片及其相关元件的特性。该系统还具有执行无损评估的能力,这意味着正在测试的晶圆在过程中没有损坏。该单位的OptiFlex架构可以适应客户需求;它可以配置超过15个不同的模块,从高分辨率视频检查到电气缺陷的微处理。KLA OPTIPROBE 2600B的扩展场视频机可实现高达100X的放大倍率,从而提供纳米级晶圆特性的高分辨率成像和横截面分析。它还可以绘制和识别腐蚀、种子、小颗粒、液体、裂纹、颠簸以及设备的特性,包括基于缺陷的检查和3D形状测量等多种应用。TENCOR OPTIBE PROBE 2600B能够测量晶圆上器件的电性能以及厚度等物理特性。其高精度光学技术可实现高达一纳米的分辨率,具有可重复的测量,不会影响晶圆的完整性和质量。此外,该工具能够快速将测量数据与工程图纸和晶圆上的"指纹"进行比较,以识别任何差异。该资产还提供了自动化的表面轮廓测量,它提供了高分辨率的表面测量功能来捕获高度和形状。这可用于监控晶片生产过程,帮助提高效率并确保设备满足关键尺寸和形状要求。对于测试和数据分析,模型配备了KLA WAVE地图软件,这是一套集成的计量软件工具。这提供了易于使用的功能来分析收集的数据并创建测量报告。这些报告是质量控制过程中必不可少的一部分,用于对一批晶片做出决策,并确保它们符合设计和性能规格。此外,该设备还提供完整的数据控制和配置功能,使用户能够轻松更改测试频率和测量范围等系统参数。这允许进行自定义测试和数据生成活动,从而使该单元能够用于研究和开发。总之,THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是一种功能强大的晶圆测试和计量机器,结合了多种技术进行高精度半导体测试。该工具具有广泛的可自定义模块和集成软件,以及数据控制和配置选项,是生产质量控制和产品开发的宝贵工具。
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