二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690 #9395501 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690是为现代半导体制造设施设计的最先进的晶圆测试和计量设备。KLA Optiprobe 2690配备了一系列的测量和分析功能,提供了一个全面的解决方桉,可以准确高效地检查和分析薄膜结构和工艺的各种特征。该系统采用热电（TE）和光光（PO）计量技术，获取关于半导体器件的地形、组成、薄膜厚度和其他关键特性的精确数据。TENCOR Optiprobe 2690配备了集成的TE探针，可实现自动晶圆映射和成像，实现各种结构的高分辨率显微成像。这种高精度的制图和成像通过热电测量单元、光学剖面仪和全套自动化软件应用程序包的集成得到进一步增强。Optiprobe 2690与一套分析工具集成在一起,可提供有关各种关键薄膜工艺的信息。这些过程包括：薄膜厚度、地形、蚀刻速率、渗透深度和掺杂剂分布。此外,这台机器还提供了可靠的诊断和表征技术,以支持精确的生产结果。此外,还指定THERMA-WAVE Optiprobe 2690包括一系列高级控制功能,包括手动和自动电机控制、XYZ自动调平和Wafer ID自动加载。该工具还包含一个组件分析资产（CAS）,通过使用适当的探头和测试信号,便于确定重要的功能参数,如电流和电压泄漏。该车型进一步配备了各种样品操纵和温度管理能力。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690专为效率和多功能性而设计,为解决半导体制造业不断变化的挑战提供了经济的解决方桉。自动化和集成的KLA Optiprobe 2690是可靠的晶圆测试和计量设备,可确保精度和最佳结果。