二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5300P #293632855 待售

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ID: 293632855
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P是一种晶圆测试和计量设备,用于一系列精密电子应用。它是一个最先进的自动化、完全计算机化的系统,能够对电子设备结构和参数进行精确和可靠的测量。KLA Optiprobe 5300P为各种应用程序提供了精确、可靠和准确的独特组合。它非常适合收集有关半导体器件的布局、触点、通函和其他尺寸的信息。此外,该单元还具有强大而灵活的平台,能够测量均匀性、层厚度、遮罩图桉形状和线宽等各种特征。该机器配备了两个先进的光学系统,用于执行一系列自动测量。这些包括扫描电子显微镜(SEM)、激光干涉测量、激光衍射和激光感应热成像(LITI)。此外,该工具还具有可选的视线成像资产(LOSIS),能够以超高精度分辨率执行自动测量。为了确保可靠和可重复的结果,TENCOR Optiprobe 5300P包括一套数据采集组件。控制器单元由一个高端图形处理单元(GPU)和一个单独的数字信号处理器(DSP)组成。GPU和DSP都进行了优化,以有效地计算满足严格测量公差所需的复杂算法。这样可以确保快速可靠的图像和数据处理。Optiprobe 5300P还包括一系列探测技术,这些技术旨在提供最精确的精确测量。这些技术包括热成像、接触模式、扫描离子显微镜(SIM)和涡流测量。THERMA-WAVE Optiprobe 5300P还具有直观的用户界面,便于设置和操作。它能够准确可靠地校准和例行测量设备参数,如高电容或低电容和电容电压比。这为用户提供了根据其特定应用需求快速调整和收集精确数据的便利和灵活性。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P为一系列应用提供了高精度和可靠的结果。它为精确和可重复测量设备参数和布局提供了卓越的性能。该模型适用于所有需要精确和精确测量能力的商家。
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