二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #293814729 待售
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340是一种最先进的晶圆测试和计量设备,用于提供各种晶圆类型和材料的高精度和高精度表征。5340是一个自动化系统,可以在微米和纳米尺度上分析和测量各种晶片上的特征。该单元由光学显微镜和计算机控制的采样台组成,用于进行各种自动化分析,包括光学、电气和化学测量。光学显微镜有一个大的物镜,可以进行超高分辨率成像,并且能够检查较小的特征尺寸,如可寻址记忆细胞或集成电路。计算机控制的采样级可实现晶片和测量头在所有三个维度上的自动移动,从而能够对复杂几何形状进行精确和可重复的晶片级分析。5340配备了多种探测器,包括CCD相机和光谱仪,可用于分析表面特征、材料和其他重要特征。该机器还有各种专门的软件机构,可实现数据文件的自动对齐、缝合和测量以及其他任务。此外,该工具还提供各种集成和接口选项,允许与其他系统连接,从而能够与外部数据源共享和分析数据。KLA Optiprobe 5340凭借其先进的机构、精度、准确性和功能,为各种应用提供业界领先的测试和计量性能。该资产能够对纳米和微米级特征进行复杂、自动化和可重复的晶圆级分析。该模型非常适合关键的晶圆表征和测试应用,如半导体故障分析、过程监控、集成电路测试和缺陷定位。
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