二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #9399017 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340是一种晶圆测试和计量设备，设计用于高精度、通量和灵活性。该系统为高级计量和缺陷检测应用程序提供一流的性能。它能够实现晶片与晶片的自动对准和非接触、大场光学成像,提供每个晶片表面的无损视图,以便识别缺陷、分析和测量关键特性。KLA Optiprobe 5340配备了先进的计量阶段，提供快速、精确的晶圆对准和高精度扫描。该单元允许对多个基板进行预对准，从而可以在尽可能短的时间内创建整个晶圆的映射。该机器还配备了多种测试和测量仪器，包括光学显微镜、CCD相机和光谱仪，用于先进的晶圆制图和分析。TENCOR Optiprobe 5340的光学平台为成像、缺陷检测和映射提供了无与伦比的性能。多色成像技术用于快速、精确的晶圆映射和特征表征。与传统系统相比，高分辨率滤波器和显微镜的分辨率提高了30倍，可以对每个晶片进行详细的检查和分析。该工具还具有先进的热检资产，提供快速、非接触式红外成像。可以使用各种热探针和透镜来检查每个晶片，从而实现快速缺陷定位和分析。最后，THERMA-WAVE Optiprobe 5340的自动化计量模型包含了一系列用于晶圆比较和分析的软件算法。复杂的算法用于快速、准确地识别给定晶片中的常见缺陷,并可以查明可能需要进一步检查的可疑缺陷区域。通过提供对复杂缺陷分析算法的访问,Optiprobe 5340非常适合复杂的计量和验证任务。