二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一种晶圆测试和计量设备，结合了精确、高速的晶圆扫描和专用的计量工具。它利用先进的CCD传感器在其光学系统中确保精确的晶圆扫描，并设计用于200毫米（8英寸）和300毫米（12英寸）晶圆的测试和计量。KLA Spectra FX 200能够对广泛的晶圆厚度、材料和图样进行二维和三维计量。这包括临界尺寸（CD）测量、蚀刻深度测量和迭加测量。它具有检测晶圆上多层特征的能力，还可以测量粒径和化学污染物。TENCOR Spectra FX 200利用获得专利的低压发电机组进行高分辨率测量，从而能够以极高的精度和分辨率跟踪晶圆特性的微小变化。这台机器还允许对扫描过程进行实时反馈控制。它具有先进的计算机控制平台，可实现快速、精确的晶圆定位。THERMA-WAVE Spectra FX 200提供了多种不同的可选组件，包括自动基板装载机、样品传输机器人、用于更高扫描速度的液体冷却、内联映射站和集成气体控制。它可以与几种不同的显微镜集成，包括聚焦离子束和扫描电子显微镜。此外,Spectra FX 200工具还配备了功能强大的基于PC的软件包,便于安装和操作。总体而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量资产。它提供准确、高速的扫描功能,同时提供多层特征检测和各种可选组件。该型号易于与其他显微镜集成，并配有功能强大的基于PC的软件包，简化了设置和操作。