二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9215204 待售
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已售出
ID: 9215204
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2005
Film thickness measurement system, 8"-12"
(2) Load ports
EFEM
UI
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength light source: 220 to 800 nm
Spot size: <30 µm (Thickness and Rl)
Spot size: <30 µm (Reflectivity)
2D and 3D Mapping function
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Screen
Recipe / Library import: TCP/IP (On-time intromit)
Wafer breakage: ≤1/1,00,000 Cycles
Signal tower
Options:
E30-98 Gem semi
E5-93 SECS II Semi
Recipe generator
Remote access capability
Carrier ID, 12"
E23, 12"
E84, 12"
E87, 12"
Safety shield for SO, 12"
HP 6122
HSMS Communication
Break beam mapper
Direct cable less power connection
E84 Enabled: OHT and AGV/RGV
OHT Lockout
Computer
Operating system: Windows XP
PHOENIX Handler
Controllers:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz - P4 2.8 MHz
Memory: 1.024 GB DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
CD_R: 40X_8X (DVD RW)
Dongle
2005 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它在半导体工业中广泛用于测试晶片的各种参数，从电气特性到物理缺陷。该系统能够从半导体晶片中精确捕获各种数据，可用于检测缺陷、测量电性能和进行统计分析。KLA Spectra FX 200由三个主要组件组成。光学站内装有显微镜、分光光度计和偏振仪，这使该单元能够捕获有关晶圆表面、结构和组成的详细信息。干涉仪单元能够捕获极其精确的测量值,包括表面粗糙度、外形尺寸和层厚度。最后，光谱仪站配备了一套分析仪器，可以对晶片的性能进行整体测量和分析。这台机器具有多种功能,旨在提高准确性和缩短测试时间。它使用专有软件和算法来加快数据分析并提供更好的准确性。内置数据库便于存储和调用数据,而双波长测试可确保两组测量之间的任何偏差均可轻松检测到。该工具还提供了一些自动化的计量程序，旨在确保最佳测量和分析结果。TENCOR Spectra FX 200的创新设计确保了它以更少的误差和更低的故障率提供卓越的性能。其检测微小缺陷、测量多参数的能力令人难以置信，使其成为最可靠、最先进的晶圆测试和计量系统之一。此外,它还可以配置为适应各种晶圆大小和类型,使其适合各种不同的应用。
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