二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9309105 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一种晶圆测试和计量设备，提供全面的分析，以准确可靠地测试和测量半导体器件性能。这个系统结合了几个先进的技术来了解一个晶圆的物理特性，可以用来了解电气性能。KLA Spectra FX 200包含一个可编程的舞台运动单元，能够快速准确地扫描整个晶圆，配有两个用于精确控制的电动机和一个用于位置检测的高分辨率编码器。此外,该机器还包括高分辨率成像、化学计量分析以及用于精确晶圆检测的缺陷表征功能。TENCOR Spectra FX 200中的高级光学器件能够对小至2 µm的特征进行成像捕获,并能够创建晶圆表面的地形图。该工具采用基于热成像的高功率激光计量，快速准确地测量晶圆上的纳米级特征。通过使用此先进技术,用户可以测量层厚度、长宽比等。此外，资产的化学计量能力提供了无与伦比的精确的层高、组成和缺陷分析的计量。Spectra FX 200提供了无与伦比的精度和可靠性水平的分析工具。这些分析工具使用户能够收集了解半导体器件电气和物理性能所需的数据，并以极高的信心解读结果。此外,扩展的连接以及方便的输入和输出功能使数据传输到其他系统、数据库和公司比以往任何时候都更容易。THERMA-WAVE Spectra FX 200的设计考虑了安全性、安全性和成本效益。这款先进的车型配备了多种保护机制，保证安全运行和免受外界影响。此外,免维护进气净化、可靠的空气冲刷以及内部和外部温度自动控制等多种功能可最大限度地降低成本,同时最大限度地提高能效。KLA的这项先进技术为测试和测量半导体器件提供了一种高效可靠的方法。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200从精确的运动控制和高分辨率成像到热成像和化学测量能力，提供了无与伦比的精度和可靠性水平的全面分析。