二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 #293591665 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660是一款顶级的晶圆测试和计量设备，设计用于各种半导体工业应用的质量控制。它提供了一系列的晶圆计量工具，从激光矢量和衍射图样分析到辐射测量分析，精确测量和比较参数值到一致和可重复的结果。KLA Spectra-Shape 8660提供多种测量功能。利用激光矢量扫描和衍射图样分析从晶圆样品中获取表面地形信息，并提供极精确的定量分析，评估表面粗糙度、晶界、浮雕特征、平坦度等表面特征的变化。此外,TENCOR Spectra-Shape 8660还提供了广泛的辐射测量功能,可以确定某些表面的绝对光学反射率。Spectra-Shape 8660的性能非凡；它利用一个在x和y方向上给出超精确运动的运动阶段，一个波长范围高达30 nm的波长，一个光学透镜系统，以及一个特别设计的成像室来保持其读数准确。此外,其光学器件设计为减少热对比度,其扫描级设计为即使样品不是完全平坦也能提供平滑的运动。该设备提供多种用户友好界面,具有全面的诊断、报警功能和自动扫描参数,在常规测量过程中易于使用和简单设置。此外,THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660还具有多种统计分析选项、自动校准例程和测量程序、趋势分析功能、集成的图像对比度和过滤工具,以及易于使用的GUI。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660是线晶圆测试和计量机的顶端，可以高精度地精确测量多种特性。其最先进的设计和先进的软件提供了快速、可靠的测量,并能够快速比较参数值和一致且可重复的结果。这种工具是半导体质量控制和生产的极有价值的工具。