二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300是一种晶圆测试和计量设备，设计用于电子和光子学工业。它提供高精度的测量与纳米解析度和实时数据收集。这使得它成为先进光刻、研发、半导体制造等应用的理想解决方桉。该系统能够测试直径不超过300 mm的晶片和测量厚度不超过1nm的晶片。它具有先进的自动化平台,可快速加载和定位样品,并具有精确的导航和稳定功能。其五轴机械臂可配置为拾取放置晶片或处理重型部件，从而使自动化测试序列得以快速准确地完成。此外,该单元支持自动测量具有完全可追踪性和过程控制的大量数据。KLA Therma-Probe 300搭载了经过优化的光学机器和50毫米物镜，提供卓越的图像分辨率和对比度。其高分辨率CCD相机提供4-6mm的视野和高达1 nm的分辨率。该工具还支持分形和微观计量，具有5.0米μ光斑大小和5nm精度。资产还可以使用热成像或热成像和光电二极管成像相结合的非接触模式运作。这提供了热分辨率降至1mK的高速测量。此外,该模型还具有自动计量功能,如PCD和CD-SEM、光学CD、线边粗糙度（LER）测量、CD和CD-SEM迭加测量以及背靠背CD。总体而言，TENCOR Therma-Probe 300是各种应用的绝佳选择。它提供了卓越的精确度和精确度、快速的数据收集以及全面的计量能力,非常适合研发、先进的光刻技术和半导体制造。