二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9399013 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630是一种晶圆测试和计量设备,用于检查晶圆基板和涂层,使制造商能够确保符合客户规范。这个先进的系统使用多个温度感应热电偶来测量和控制摄氏几度以内的温度，精度± 0.2°C。KLA Therma-Probe 630具有最先进的电子设备、伺服控制和数据采集技术,便于对多个基板进行精确、可重复的测试。这一创新单元可以检测晶圆基板的表面和地下缺陷，使其成为缺陷分析的有力工具。TENCOR THERMAPROBE 630还评估与基板损坏相关的光学特性变化，有助于检测弱特性并揭示表面变化。用户友好的THERMA-WAVE THERMAPROBE 630配备了符合人体工程学设计的用户界面，允许操作员在生产过程的任何时刻进行晶圆测试和计量。直观的界面专为直观操作和快速设置而设计，提供了快速、方便的机器功能和结果访问。而且，THERMA-WAVE Therma-Probe 630支持广泛的测试模式，使其能够轻松适应各种测试参数。这包括对光学密度、温度和厚度的精确测量,以及对表面粗糙度和均匀度的测试。使用THERMAPROBE 630,用户可以根据客户的特定要求设置测试参数。Therma-Probe 630的创新特性包括高分辨率晶圆成像技术、前沿激光干涉仪、精确热加热以及数据的静态或动态分析。这为用户提供了可重复、可靠的结果，确保了对基材和涂层的最佳质量控制测试。从特定的可用性考虑到长期的性能,KLA/TENCOR/THERMA-WAVE THERMAPROBE 630提供了无与伦比的准确性、可靠性和可重复性。