二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754103 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400离子植入器&监控器是半导体工业的一种最先进的高分辨率离子植入器。KLA TP 400提供精确的电路和操作,能够以最小的电气和机械噪声进行高性能的设备处理。其可调离子束参数和集成电子设备提供了无与伦比的离子剂量和精度。TENCOR TP 400具有一套全面的技术来监视和控制移动离子植入的过程，包括一个完全可定制的控制台，具有直观的操作员界面和用于分析任务的集成图形用户界面。其五轴光束扫描仪提供了最大的灵活性和精确的图样，具有超高分辨率的控制系统精确控制光束的大小和方向。THERMA-WAVE TP 400的光束以先进的信号处理系统为后盾，用于检测光束的不稳定性并自动相应调整参数。TP 400提供了多种高级功能,包括带有入射和反向散射电子探测器的高级多通道电流监视器。该监测系统结合KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400的数据采集、分析和可视化功能,促进了高效的过程优化和绝对实时分析。KLA TP 400的集成热电子源提供高达20 keV的高性能电子束能量，通过较厚的材料层确保受控植入。集成源还配备了改进的磁限制器和抑制器配置，提供了最大吞吐量的增加光束亮度。总体而言，TENCOR TP 400离子植入器和监控器是一种先进和创新的半导体器件处理工具。利用先进的信号处理、数据采集和可视化技术,提供精确、高精度的植入功能。从可靠的剂量设定到质量监测和工艺优化，THERMA-WAVE TP 400是高效可靠的器件处理的宝贵工具。