二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754104 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400是一种离子植入器和监测器，设计用于离子植入过程的精确控制。这台机器能够提供高分辨率和精确的离子注入，以有效地制造元件，特别是微电子、TFT显示器和太阳能电池。KLA TP 400由几个组件组成--离子注入源、监控器、控制单元和样品支架。离子植入源由产生特定能级离子的电子加速器产生，优化了植入材料的表面特性。源生成后,将使用监视器单元检查过程的结果。这是用四极质谱仪（QMS）和数字发射分析（DEA）完成的。控制单元负责电子束性能参数的调整，允许对能量、植入物深度以及每通剂量的均匀性进行全面控制，控制单元还具有一套内置的安全特性，以保护被植入的物品免受过程错误的影响。样品支架允许完全的定位控制，并支持各种样本量和重量的植入。TENCOR TP 400具有便于安装和维护的模块化设计,以及易于操作的直观控制软件。该系统利用强大的计算机资源构建,以确保结果的准确性和稳定性。此外，真空绝缘室的使用提高了工艺的稳定性，并防止损坏细腻的部件。TP 400是精确控制离子植入过程的重要工具.利用其先进的技术，它能够以最小的污染提供可靠的结果，改善不同类型部件的生产过程。