二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293699103 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在对半导体晶圆和集成电路进行电气和光学测试。它为晶圆测试服务提供了一个集成平台，包括晶圆探测、晶圆参数测试、排序和编程。它还为晶圆尺寸测量提供了先进的计量能力，包括晶圆形状、平坦度和边缘轮廓。KLA TP 500具有高速晶圆prober系统，能够测量多种参数数据，包括Vt、Ioff、介电击穿、平坦度、断点、晶圆参数分布、泄漏电流。它还可以对不合规的基板进行监控。TENCOR TP-500能够处理200 mm大小的晶片,并具有五个可选的螺头。这提供了40MHz的最大测试速度。Prober有一个内部数据接口，能够快速、方便地将数据传输到主机。TP 500的计量能力包括晶圆形状、平坦度和边缘轮廓的测量。采用激光干涉法和闭环数字显微镜测量晶片形状。它还利用KLA Interferometry Metrologer （TIM）进行平面度、边缘轮廓、自旋均匀度和其他类型的尺寸测量。THERMA-WAVE TP-500还提供了一个环境分析仪，可以为辅助仪器模板晶圆。它读取模具尺寸，整理模具，测量刺激和参数，并筛选缺陷。THERMA-WAVE TP 500具有无懈可击的可靠性和准确性记录。其板载数据系统监视机器性能,并在检测到故障时向操作员发出警报。它还内置了一个自我诊断工具，可以快速识别和补救任何问题。总体而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500是一种最先进的晶圆测试和计量资产，为测试各种半导体晶圆和集成电路提供了可靠准确的平台。它提供了一个高速prober，与先进的计量能力，使详细测试和跟踪基板参数。