二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于半导体工艺开发和故障分析。该系统提供高分辨率和准确度的晶片或模具的自动化顶面和横截面分析。KLA TP 500利用热成像来测量晶圆表面的电性能，而无需破坏性接触或光学显微镜。此过程有助于识别小尺寸特征中的损坏和缺陷。该装置还能够使用非接触式传感器进行模具和晶圆级平坦度测量，从而能够检测到高达0.3 nm的地形变化。对于模具分析,TENCOR TP-500通过手动和自动模具地址转换提供了自动模具定位功能,可轻松地从一个位置移动到另一个位置。该机采用45x45mm或90x90mm的XY级，为晶圆分析提供了全面的映射。该工具还具有高分辨率成像，具有高达0.5 µm的景深，数字图像捕获，自动选模，印记检测器技术。其图像分析工具包括先进的粒子计数、临界尺寸测量和电气特征分析。TP 500可以生成各种格式的计量报告，如组合摘要、故障机制分析、通过/失败和地形报告。该资产还可以对临界参数（如阈值、平整度、连接性和模模可重复性）进行检查映射。此外,该模型还具有直观、用户友好的界面,并允许远程设备诊断和维修。它旨在满足RoHS法规遵从性,并以高达每小时120晶圆的吞吐量速度提供高速采样。THERMA-WAVE TP-500是一种用于要求苛刻的半导体过程的顶级晶圆测试和计量系统。