二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630 #293636352 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630是KLA和TENCOR制造的晶圆测试和计量设备。这种先进的系统提供了先进的多传感器技术和智能生产控制功能的独特组合。专为半导体制造和研究应用而设计。KLA TP 630是一个全自动单元，内建CCD探测器，自动化机械取样处理机，智能软件套件。它提供了广泛的计量功能,从单传感器测量到使用高级算法的复杂的多传感器多维分析。它还具有独特的多站点样品处理模块和精确的运动控制，用于在样品阶段精确定位基板和样品。TENCOR TP 630采用了IEEE-1394数字成像技术和先进信号采集、处理和分析技术方面的最新进展。该工具能够测量半导体材料的各种电学和光学特性，包括薄膜、地形和纳米结构特性。它提供了一系列的计量能力，从简单的电气和光学测量到复杂的多维分析。THERMA-WAVE TP 630的多传感器资产能够测量多种性质，如表面积、厚度、电阻率和介电常数。该模型还能够通过多个采样区域分析样本，准确分析复杂结构。它可以配置有各种适合不同应用的探针、晶圆帧和探针卡。TP 630还提供高分辨率成像功能，提供半导体材料的详细2D和3D图像。该设备非常适合测量、检查和分析材料的各种几何形状和参数。它可用于材料动力学的过程监测和表征，如温度、干蚀刻过程或电子束光刻。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630提供无与伦比的性能和准确性，可以与数据采集和分析系统集成，以最大的生产力。该系统的先进设计和特点确保了准确的结果，即使在极端的工艺条件下也是如此。其强大的软件套件使工程师和科学家能够快速准确地分析他们的数据并做出更明智的决策。