二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759749 待售
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ID: 293759749
优质的: 2004
Metrology system
Lamp housing
Stage assy
Optic assy
Probe assy
Laser
Aligner
AC and DC Power supply
(2) ASYST IsoPort Load Ports
(4) KINETIC SYSTEM 400077 Vibraplane
POWERTRONIX 18-1222298 PDU
ANORAD B806009 Axis controller
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PC
2004 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一种多功能晶圆测试和计量设备，设计用于高精度和高速计量应用。该系统具有高性能光学器件和高质量成像，用于分析和测量样品。它配备了一个快速可靠的AutoFocus单元，以及一个独特的In-Sight算法来快速分析来自大型晶片的复杂设备结构。KLA TP 630XP使用自动化阶段进行高效的样本扫描,并提供三种速度来实现计量和表征应用的最佳速度和准确性。TENCOR TP 630XP的最大步长为2.5微米,可测量到亚微米级的电路特性。FP 630XP还针对不同的测试要求提供了三种照明选择。这些包括白光、偏振光和暗场照明。TP 630XP具有高分辨率CCD摄像头,可选择分辨率从550 x 570到3,424 x 2,656像素。相机的图像处理软件可以非常精确地分析来自整个晶片的数据。机器还支持各种样品制备材料，允许晶圆变薄、铰链探测和测试前蚀刻。THERMA-WAVE TP 630XP还提供高级计量功能,允许对高度、倾斜、拐角和边缘半径以及其他微观特征进行高精度测量,以进行缺陷审查和分析。此外，高级软件包还包括用于自动设备识别、晶圆迭加和迭加测量以及临界尺寸测量的图像处理工具。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP经认证可用于晶圆级制造，以及用于监测石刻工艺的自动化计量。该工具与各种行业标准的等离子体蚀刻和降解工艺兼容。KLA TP 630XP具有全面的特点,旨在改进晶圆级计量、降低成本和提高产量。
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