二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一种先进的激光热成像晶片测试和计量设备。它使用红外热成像来测量晶片在亚微米分辨率下的电阻率，使其适用于一系列半导体生产过程。KLA TP 630XP能够测量复杂的三维结构,而无需手动对准或测量后计算。它对用于制造半导体芯片的薄膜、特性和材料进行快速、无损检测。晶圆用激光束照射，热成像相机注册的红外线转换为相对电阻率值，然后与一个标准相关联。该系统快速可靠，数据采集速度高达每秒5000点，可实时提供全面分析。它具有内置的安全机制和多个警报，以提醒工作人员注意高温等危险。该单元的报告功能允许对数据集进行近乎即时的存储和分析。TENCOR TP 630XP可以精确测量晶片上和外任何方向的电阻率值（双向电阻率），即使在高度局部化的非线性情况下也是如此。TP的双向电阻率测量630XP保证准确、可重复和可追踪的结果。此外，它的高性能图像采集和信号分析使得它适合在深亚微米结构中进行高级测试。除热成像能力外，THERMA-WAVE TP 630XP还包括专门的计量工具，如用于数据和参数测量的过程控制机，以及用于有效识别过程误差的快速结果分析工具。它还包括自动对齐和稳定机制等功能,以帮助降低手动对齐成本。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一种高效、精确的晶圆测试和计量资产，适用于半导体行业的许多生产过程。它具有先进的热成像和计量能力,能够快速准确地分析复杂的三维结构,其内置的安全特性和报告能力使其成为各种晶圆测试和计量要求的可靠和安全的模型。