二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293619569 待售

KLA/TENCOR UV 1050是为先进半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。它是一个全自动、高吞吐量的检验和计量系统，提供每个晶圆的实时数据。KLA UV 1050能够精确地测量纳米尺度特征。该单元通过使用一系列激光和视觉技术来发挥作用。这些包括激光散射测量、激光干涉测量、白光干涉测量、基于图像的检查和计量以及荧光计量。例如，激光散射法测量激光从晶圆表面的散射，允许对纳米尺度特征进行几何测量。激光干涉测量图像的微观纹理的晶圆表面捕获三维地形。白光干涉测量膜、膜上膜和纳米级分辨率膜上的地形。基于图像的检查测量缺陷的存在、大小和形状。最后，荧光计量法测量晶圆表面发出的光，以检测关键部件和缺陷。TENCOR UV 1050的设计使制造商能够更容易地检测到关键缺陷并控制大容量晶圆制造过程参数。其强大的光学器件允许对整个晶片进行多个设备图像和自动扫描。高速成像机每秒捕获四个图像，提供快速准确的结果。该工具的基于图像的计量功能能够精确测量多种表面特征,包括TCD、薄膜电阻、地形、厚度测量和横截面轮廓。此外,UV 1050还具有专有的亮场、暗场和荧光杂波减少技术,为用户提供动态缺陷增强和更深入的检查。总体而言，KLA/TENCOR UV 1050提供了可靠且易于使用的晶圆测试和计量资产，使其成为先进半导体设施的宝贵资产。通过将前沿成像技术与自动化和高速检测相结合，KLA UV 1050为制造商提供了在纳米尺度上精确测量、识别和控制关键缺陷的能力。