二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293704464 待售

ID: 293704464
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050是一种综合性的交钥匙设备,旨在为器件结构提供高度可靠的量子计量分析。除了对各种晶圆特性的极其通用的控制之外,它还提供了高精度和可重复性。KLA UV 1050是一个全自动的计量系统,允许用户在无需操作员干预的情况下分析设备结构。该单元采用独特的、光学扫描的大视场(LFOV)成像配置,提供了前所未有的晶圆表征水平。这台机器可以采用基于点和基于线的测绘技术,从广泛的特征中收集数据,包括亚微米沟槽、支柱、TSV互连和其他导电路径。它还根据百分比收缩或扩展趋势精确地表征窄线几何形状。机器可以测量晶片上的精确位置、形状、大小、粗糙度和修改间距,无需任何操作员干预。此外,它还可以检测到潜在的污染,并可以近乎实时地测量任何潜在的晶圆损害。TENCOR UV 1050是一个非常高效的工具,可在一个通道内提供多个关键的测量步骤。这样可以加快分析时间,从而加快产品开发速度,以满足客户的需求。它采用高速漂移补偿技术,能够实现超高分辨率成像的常规扫描模式和纳米扫描模式。UV 1050的灵活性进一步使用户能够采用不同的方法进行表征,从而在单个资产中轻松地从表面评估转换为批量评估。通过晶圆级或设备级缺陷分类和测量,确保产品产量得到优化。KLA/TENCOR UV 1050还具有一系列先进的分析功能,可提高产品质量并降低生产成本。该模型包括若干定性和定量表征算法,以及预测和分析模型,以识别缺陷趋势,监测过程控制和晶圆生产数据。KLA UV 1050是一种可靠可靠的晶圆测试和计量设备,在高效平台中提供了广泛的功能。该系统旨在提供可靠的结果,使用户能够更好地了解设备结构,并优化其流程以提高产量和产品质量。
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