二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293733125 待售

ID: 293733125
晶圆大小: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR UV 1050是一种精密、高精度的晶圆计量设备,设计用于测试和分析预金属化半导体晶圆。它非常适合用于各种集成电路(IC)工艺的质量保证,包括后端碰撞后处理和3D-IC硅体系结构。该系统旨在提供高分辨率的晶片图像,以及可用于识别任何潜在缺陷和故障的综合统计数据。KLA UV 1050是一个非接触的、基于图像捕获的单元,它捕获晶片表面的图像到单个微观结构水平。它使用紫外线(UV)激光诱导荧光(LIF)来照射晶片表面,并将晶片的图像拍摄到亚微米分辨率。然后将其用于分析表面上的任何缺陷。机器还有一个激光,它聚焦于芯片的某些位置,可以检测任何可能存在的缺陷。TENCOR UV 1050能够每秒产生一张和多张影像。这对于一次监控多个晶片以及更快检测缺陷非常有用。它还装有一系列成像滤波器,可以用来观察不同波长的晶圆特征。这种灵活性使其适合广泛的应用要求。UV 1050软件使工具能够用于离线和在线质量控制目的。离线模式允许用户分析单个晶片的图像,而在线模式则允许用户对生产线中的多个晶片进行自动实时检查。这有助于优化质量控制过程的效率,从而确保高产率。此外,资产还具有先进的照明子系统,能够产生多种类型的光斑照明。这使得它适用于平坦和非平坦表面的成像,以及极不平坦的表面。这使得它成为检查3D-ICs以及堆迭模具和其他复杂芯片类型的理想模型。总之,KLA/TENCOR UV 1050是一种用途广泛、可靠的晶片测试和计量设备,旨在产生晶片的精确图像,以及广泛应用所需的全面统计数据。除了先进的成像能力外,它的多个照明源和在线/离线操作使其成为用于测试和质量控制目的的独特且有价值的系统。
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