二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293750635 待售
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KLA/TENCOR UV 1050是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于实现关键半导体工艺参数的精确测量和监测。该系统将快速振荡快门和激光对准技术与自动六轴级相结合，进行精确的微距配准，创建了一个先进、通用的缺陷检测和多模强度审查单元。先进的模模跟踪和快速的非接触式计量等功能确保了机器能够以无与伦比的精度和可重复性测量半导体工艺参数。该工具能够在大功率紫外线照射下检测晶体管、介电结构、铜互连、接触垫和深沟等三维结构。KLA UV 1050包括先进的光学资产，其中包括10K像素UV光源，以及先进的对准模型，同时带有编码器和舞台控制器，由板载计算机指挥。使用CCD相机捕获数据,具有12位捕获分辨率、不到1毫秒的图像捕获速率和高精度对焦。设备包括许多确保准确性的功能,包括自动对准和跟踪、内置视觉传感器、手动和自动阈值设置、图像捕获预览以及高级测量、分析和报告功能。系统的自动化操作也可以编程为运行自定义应用程序，如流程优化和缺陷位置评估。TENCOR UV 1050设计方便操作,需要最少的设置和操作员干预.利用先进的光学设备、集成的UV光源和直观的用户界面,该设备能够快速识别出微妙而具有挑战性的缺陷,并为用户提供准确、可靠的数据,用于过程控制和提高产量。
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