二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293759835 待售

KLA/TENCOR UV 1050是一种先进的晶圆测试和计量设备,它为半导体晶圆制造过程控制和在线计量提供了无与伦比的精度、重复性和可追踪性。配备了硬X射线、光学散射法、光度法、拉曼光谱等技术，该晶片测试计量系统旨在测量和验证晶片表面平整度、蚀刻深度、掺杂浓度、CD均匀度等关键工艺参数的均匀性。KLA UV 1050旨在为100 nm以下的几何形状提供最高的测量精度。该设备具有10nm的分辨率和0.5nm的可重复性精度。凭借其获得专利的垂直扫描技术，该机器被设计为在晶片上提供卓越的精度和均匀性，没有材料宽度或材料类型的限制。此外，它的高精度水平扫描消除了与光学元件的线性或非均匀性相关的误差。TENCOR UV 1050是一种交钥匙计量学解决方桉，既可用于前端晶圆加工线，也可用于后端计量学实验室。采用模块化设计，可支持高吞吐量的应用，每次测量最多2个晶圆，高精度的应用，最多8个晶圆测量的可重复性。除了自动测量各种关键工艺参数外，该工具还包括各种智能功能，如自动象限对准和自动原位晶圆自校准。UV 1050的用户界面是为简单易用而设计的，而其高级分析则是为晶圆处理和计量工程师量身定制的。所有数据都以标准ASCII、CSV、SQL或其他数据库格式存储,从而易于与现有系统集成。为了确保数据的准确性,资产有一个内置的可追踪性程序,用于跟踪模型验证,以进行平面测量、性能、维护活动和设备校准。该系统与多种基板兼容，如硅、玻璃、聚合物和杂种，以及几种操作模式。凭借KLA/TENCOR UV 1050的实惠成本和创新，它是那些希望优化产量和材料研究的人的完美计量单位。