二手 KLA / TENCOR UV 1050 #9275409 待售

KLA / TENCOR UV 1050
ID: 9275409
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050是一种晶圆测试和计量设备,旨在方便高质量晶圆测试、分析和计量。该系统能够检测各种晶片基板,包括硅、氧化物、金属、砷化氙等。KLA UV 1050利用亮光条纹技术来测量表面几何形状,以及一系列传感器来检测表面粗糙度和缺陷。TENCOR UV 1050单元提供了样品和每个光条纹之间唯一的测定系数,提供了对微分界面的精确分析。这台机器能够在一次扫描中评估地形和粗糙度参数。此外,该工具还提供了基于用户定义参数的测量结果的全面摘要。UV 1050利用可调节聚焦显微镜进行缺陷检查以及侧视角度来确定特定晶片基板的临界尺寸和定位特征。它配备了单独的激光引脚,即使是晶圆表面上最小的微缺陷也能检测出来。该资产还能够提供3D地形分析,以准确确定缺陷的高度和深度。KLA/TENCOR UV 1050配备了数据收集、图片存档模型和报告的自动化软件套件。这台设备一次最多可分析12个晶片,最大吞吐量速率高达每小时100个晶片。从KLA UV 1050收集的数据既准确又可靠-确保晶片符合所有适用的质量标准。所有这些特性使得TENCOR UV 1050成为晶圆测试和计量的理想选择。可靠、准确,能够提供晶圆基板的综合信息;确保晶片符合质量标准。该系统相对容易使用,为晶圆测试和计量提供了一系列全面的功能。
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