二手 KLA / TENCOR UV 1280SE #293625033 待售

KLA/TENCOR UV1280SE是一种晶圆测试和计量设备，提供先进的产量监测和控制能力，使半导体行业能够实现更高的产量和更大的工艺稳定性。利用先进的紫外线光源，该系统能够高精度收集3D MacroDefect数据，以详细的二维和三维图像数据分析关键的电气缺陷和光学特征。具有较高的测量灵敏度和准确性，该单元甚至可以精确识别晶圆表面最小的缺陷和特征。机器还从接触探针收集电气测试数据，使用一系列先进算法，以高灵敏度和精确度识别和分类电气缺陷。这些测量用于分析设备性能并及时识别过程问题。此外,利用该工具收集的宏缺陷数据用于关键过程决策。KLA UV 1280SE还提供了一系列的计量能力。其计量套件包括薄膜厚度、步高、平整映射、电阻和表面形态的测量。这些测量可用于模式均匀性、缺陷验证、端点监视和迭加对齐。此外，资产还对特定区域或集成电路中的电气参数进行有针对性的探测。这是使用其集成的WaferTest工具完成的,该工具允许选择目标电气测试参数和自动分析收集的数据。此外,该模型还提供了一系列自动化软件工具,提供了完整的缺陷和屈服分析功能。此外，这些设备还可用于收集生产数据，通过多个晶圆运行进行数据分析，促进过程跟踪和洞察力。TENCOR UV 1280 SE还包括直观图形库,可实现实时产量和产品性能分析。所有这些数据都可以在基于浏览器的SmartView界面中访问和分析。总而言之,KLA/TENCOR UV 1280 SE为半导体生产提供了一套全面的晶圆测试和计量解决方桉,提供了复杂的缺陷和产量监测功能,以实现更高的产量和更高的工艺稳定性。