二手 KLA / TENCOR VM 1020 #9293536 待售

KLA/TENCOR VM 1020是一种晶圆测试和计量设备，设计用于缺陷审查、测量和分析。该系统基于符合人体工程学、高度可调的检测平台，最多支持四个工艺模块，每个模块都有自己的光学、电子和自动化功能。该设备能够处理一系列晶圆尺寸和形状,包括标准和非标准尺寸及配置。KLA VM 1020配备了先进的光学器件，包括傅立叶变换红外（FTIR）成像、大功率成像、共焦显微镜、数字图像关联（DIC）和自动对焦校准。该单元还具有自动扫描、粒子检测和分析以及在多层基板上精确放置缺陷的功能。双光束激光干涉测量、全向颜色编码缺陷映射、测试数据"落差"等特点，确保了可靠的计量结果。该机器具有一整套实用程序和功能,包括增强的数据安全性、密码保护的访问、深入的故障排除和可联网的软件。软件开发工具包可供经验丰富的用户自定义工具参数,从而能够进行更深入的分析。适用于广泛的应用，包括半导体生产、芯片测试、光刻和生物医学研究。TENCOR VM 1020设计用于晶圆和基材的快速、准确和可重复的测量。其先进的技术和直观的用户界面使设备易于使用，甚至对于初学者来说也是如此。它灵活的设计和配置选项使其成为任何过程中质量或研发项目的理想选择。