二手 KLA / TENCOR VP 10 #9226132 待售

KLA/TENCOR VP 10晶圆测试和计量系统是一种通用、高性能、极精确的半导体材料评价和表征工业计量仪器。KLA VP 10是一种先进的涡流检测工具，使用激光干涉仪测量晶圆表面的物理性质，如步高、粒子结构、缺陷密度等。基于摄像机的集成光学显微镜允许高分辨率的过程监测和缺陷诊断。利用快速数据分析和报告能力进一步优化了该仪器的自动化操作。TENCOR VP 10的核心是精密制作、经过全面测试和高度可靠的激光干涉仪。这种干涉仪利用低相干性、单频激光与高分辨率相机阵列耦合。然后，系统测量晶片表面的光路长度，提供令人难以置信的精确的地形轮廓。VP 10的激光干涉仪的一个优点是它能够测量超薄层和薄膜的性质，例如光刻胶和晶圆的稀释过程。KLA/TENCOR VP 10作为晶圆测试的多合一解决方桉，也支持一系列先进的计量工具。这些工具使仪器能够高精度地测量临界尺寸、缺陷密度和图桉特征的均匀性。它还具有广泛的样品持有者，可以轻松容纳不同大小和形状的样品。最后,KLA VP 10的高级数据分析软件提供了对多个晶片的全面而精确的趋势分析,为分析长度数据和降低制造成本提供了强大的工具。TENCOR VP 10是一个尖端的晶圆测试和计量工具，提供高精度的测量和广泛的强大的计量工具。这使得它成为各种行业的理想仪器，从半导体器件制造商到微电子工厂。它是一种可靠、高效的工具,可以深入了解晶片和薄膜的物理特性,使其成为任何希望优化生产的企业的宝贵工具。