二手 KLA / TENCOR Zeta 20 ZFT #9307818 待售

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ID: 9307818
优质的: 2018
Optical profilometer Upgraded from Zeta-20 2018 vintage.
KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT是一种晶圆测试和计量系统,为生产规模的晶圆检测、分析和缺陷检测提供准确、精确的数据。它结合了先进的检验和计量工具,为半导体制造的高产率提供了可靠的结果。KLA Zeta 20 ZFT的核心部件包括功能强大的图像数字化、定量模式识别、高分辨率数码相机以及先进的晶圆映射能力。数字化设备根据光强度高精度测量缺陷,模式识别算法识别缺陷投影,摄像机提供高分辨率图像,从而准确确定缺陷。先进的晶圆映射功能允许实时映射晶圆表面,并用于确定晶圆的最佳取向以获得良好的检测结果。TENCOR Zeta 20 ZFT提供了多种实时扫描和计量选项,包括自动比较/自动分析、精密分析、随机缺陷检测、临界尺寸测试和Z误差过滤。"自动比较/自动分析"功能提供快速缺陷映射,以确定关键尺寸测量的最佳位置。Precision Analysis模式通过创建样品切片的高分辨率图像提供快速、准确的缺陷检测。随机缺陷检测利用一种算法自动检测和分类晶圆上的随机缺陷。最后,临界尺寸测试为复杂阵列提供高精度测量,以确定特征的临界尺寸。此外,Zeta 20 ZFT利用高级Z-Riror过滤检测和过滤出任何有害信息,如统计变化、交叉晶片效应、电干扰和晶片上的噪声。与早期的技术迭代相比,这确保了高精度的结果。综上所述,KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT是一种功能强大的晶圆测试和计量系统,旨在确保半导体制造的高产率。它融合了尖端图像数字化、模式识别、数码相机以及先进的晶圆映射技术,以提供准确的结果。它还提供许多扫描和计量模式,以满足不断变化的生产需求。最后,先进的Z-Reror过滤技术进一步提高了数据精度。
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