二手 KLA / TENCOR Zeta 20 #293779066 待售

ID: 293779066
优质的: 2019
Microscope 2019 vintage.
KLA/TENCOR Zeta 20是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于半导体晶圆的精确质量检验。它采用专利的非接触式光学旋转电动机(NORM)技术,能够在晶圆表面和边缘进行高效的高速测量。该系统能够检测到0.2 µm以下的特征大小,使用户能够在制造过程中控制和监测晶圆的形成,并测试污染。该单元在检查时使用高效、精确的光学定位装置来旋转晶片。这样可以精确测量特征的长度和宽度。电机能够在任一给定点的晶片两侧提供多达400系列的多次测量。它还包括一个增强型发光二极管(LED)阵列,提供目标表面的均匀照明,用于精确成像。机器还包括一个精确的过滤阶段,允许精确检测晶圆形状和表面粗糙度等关键参数。所有结果都可以在工具的用户友好图形显示中查看。该资产的设计非常可靠,能够产生可重复的结果。它还设计用于与标准计量系统交互,允许不同仪器之间的数据传输。该型号还具有一系列自动化功能,包括对比度变化检测和自动报警设置。这有助于提高效率和提高准确性,方法是在检测到的值超出指定范围时自动通知用户。KLA Zeta 20设备是半导体晶圆检测和计量的强大可靠工具。其准确性和自动化功能有助于提高半导体器件的生产率和改善质量控制。
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