二手 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #293597954 待售

ID: 293597954
Wafer inspection system Laser spot: 405 nm High speed scanning optics Motorized XY Stage, 8" LCD Color monitor, 30" Nominal: 2560 x 1600 pixels Wafer handler, dual arm Light tower (4) Cassette locators for 4/6" ULPA Filter OCR For backside wafer ID reader Exhaust RFE GEM / SECS HSMS PC Controller: Operating system: Windows 7 Processor: 64-bit Intel Core 2 Duo RAM: 64 GB Hard Disk Drive (HDD): 500 GB Data acquisition cards.
KLA/TENCOR Zeta Scan 280是一种高性能的自动化晶圆测试和计量设备,专为在半导体工业计量任务上具有独特用途的应用而设计。该系统提供广泛的4"、6"和8"晶圆测试能力,确保晶圆测试和数据分析过程中的高精度。Scan 280配备了两个激光传感器,允许同时测试晶圆的背面及其正面,以及数据分析。传感器由激光触发器激活,并在检查晶片时相互跟踪,为从晶片中检索准确数据提供了一种快速可靠的方法。该设备先进的光学成像技术提供了广泛的分辨率选项,能够获得重要的细节,使工程师能够对晶圆测试数据进行有意义的分析。借助先进的图像采集机和极其快速的激光扫描工具,此资产可以以非常高效的方式获取和分析2D、3D和4D数据。KLA Zeta Scan 280使用智能机械臂在整个测试过程中运输晶圆。这种机械臂配备了一套专有的安全特性,能够进行错综复杂的运动,使其能够准确地掌握和评估不同尺寸的晶圆,以及避免污染物。此外,晶圆传输模型确保正确聚焦和捕获图像,以获得所需的结果。为了提供高精度,TENCOR ZETASCAN 280设备还附带了多种额外的防护安全机制。它配备了非接触式极限开关,防止晶片在运输过程中处理不当,并能确保设备在发生意外电源故障时保持安全。此外,该系统还配有一个内部氧气保护单元和一个集成的激光屏蔽装置,在操作过程中保持激光的安全。KLA/TENCOR ZETASCAN 280是一台功能强大且先进的晶圆测试和计量机器,为满足半导体行业的需求而设计和建造。该工具能够精确测试晶片并检索有意义的数据分析,其详细程度可以为成功和高质量的半导体生产带来不同。
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