二手 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #9293267 待售

KLA/TENCOR Zeta Scan 280是一种晶圆测试和计量设备，用于监测微电子器件的制造，包括半导体芯片、薄膜和平板显示器。它是一种高分辨率成像系统，旨在测量参数，如表面地形、薄膜厚度、模具高度和晶片基板上的应力。KLA Zeta Scan 280是基于最先进的共焦显微镜的光学单元，配备了先进的对比度灵敏度和扩展的景深能力。它具有5轴级机器，用于快速、精确的晶圆处理。直观的图形用户界面允许用户在一个方便的位置控制晶圆位置、图像捕获和设置。TENCOR ZETASCAN 280利用光源、透镜和滤镜来捕获晶圆的图像，然后将其数字化。对扫描图像进行了算法分析，提取了表面高度、模具高度、薄膜厚度、应力等数值。可以对数据进行操作,以报告的形式生成结果的表格显示。KLA ZETASCAN 280支持各种计量技术，包括亮场、暗场以及光谱成像。扫描速率高达60图像/秒可实现基板参数的无损高速测量。Zeta Scan 280是一种功能强大的晶圆测试和计量工具,提供先进的成像功能和高速数据采集功能,用于监控高度复杂的微型设备的制造。其令人难以置信的精确成像功能、直观的用户界面以及无与伦比的精确度,使其成为半导体制造商的理想选择。