二手 KOBELCO / LEO LER #293642527 待售

KOBELCO/LEO LER是一种用于半导体的高科技晶圆测试和计量设备。该系统旨在在晶片制造过程中对晶片进行精确分析和检测。它利用尖端技术对晶圆进行高精度测量，并确保尽可能高质量。LEO LER使用各种计量测量的组合，如色控、干涉测量和扫描电子显微镜。色控测量样品的颜色，允许识别和检测晶片上的任何缺陷。干涉测量法使用旋转镜干涉光波，允许分析晶圆的表面地形。同时，扫描电子显微镜是一种利用电子形成晶圆成分图像的成像技术。此外，KOBELCO LER单元能够对整个晶圆表面进行3D成像。这是通过结合所有的计量测量和从扫描收集的数据来完成的。然后机器能够检测晶片上存在的缺陷、表面异常和不同的材料。它还可以测量特征的厚度和方向，如闸门和间隔线。此外,LER还实现了许多高级功能,以确保高精度和可靠性。例如,该工具利用自动缺陷检查功能,使操作员能够实时监视过程。此外，还采用了全面的晶圆身份识别资产，以确保一致的结果和准确性。总体而言，KOBELCO/LEO LER是一个非常先进的模型，它提供了对半导体晶片的全面和准确的分析。凭借其强大的计量测量阵列和先进的特点，该设备为用户提供了一个可靠和准确的测试和检查晶片的手段。