二手 KOBELCO / LEO LTA #293642502 待售

KOBELCO/LEO LTA设备是一种最先进的晶圆测试和计量系统，旨在测量半导体晶圆的几何和电气特性。其主要应用是验证符合规范和保证工艺稳定性，以及提供关于晶片到晶片变化的全面信息。该单元配备了两个级，同时测量晶片的几何特征（表面纹理和厚度）和电气参数（电阻率和绝缘性）。第一阶段对晶片进行多达16次物理测量，包括表面轮廓、尺寸和非导电材料，如氧化物或其他绝缘层。第二级对晶片进行精确的电气测量，包括接触电阻和绝缘电阻。该机器采用了获得专利的双重测试方法，允许对晶圆的几何和电气特性进行实时数据评估。这样可以进行高吞吐量测试,减少测试时间并节省宝贵的生产时间。此外，该工具能够自动检测缺陷和微小的变化，帮助生产者保持过程的稳定性。设计了资产的可重复性和精确度。所有测量都是可重复和精确到微米内。该模型的精确可重复性也使晶片堆迭不影响测量精度。通过特殊算法进一步提高了设备的精确度，使接触电阻测量达到了piciohm尺度。LEO是一个高效但功能强大的晶圆测试和计量系统。利用它的双重测试方法和精确的重复性，这个单元可以快速和准确地测量晶圆的几何和电气特性。这样可以确保过程的可重复性,并能够更好地控制生产。此外,该机器的设计目的是通过只需一次通行证即可获得准确的结果,从而最小化生产时间。