二手 KOBELCO / LEO RPW-1000M #9384690 待售

KOBELCO / LEO RPW-1000M
ID: 9384690
Wafer shape measuring resistance system.
KOBELCO/LEO RPW-1000M是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量仪器。该系统具有先进的光学测量设备,具有亚微米精度和可重复性.LEO RPW-1000M的核心是一台背光CCD相机,其测量格式广泛,从全晶圆到局部区域。光学单元配有用于自动晶圆扫描的高分辨率级,有助于最大限度地减少未对准。该级还具有减振功能,可提高准确性和稳定性。这台机器有一个精密的控制面板,用户可以快速轻松地配置各种晶圆测试和计量参数。它包括用于缺陷分析的精密开槽以及轮廓测量、自动对准调整和精确晶圆稀释能力等功能。KOBELCO RPW-1000M能够测量散装硅片的各种特征。其先进的边缘检测能力使其成为测量晶片上具有图案化和非图桉化特征的静电放电的理想选择。它还能够测量表面地形和成像在正负两个方向上高达10倍。该工具最多可以存储78个不同的用户配置文件,并且可以远程调用它们以进行多工作站操作。利用其高级软件,用户可以在传统方法的一小部分时间内处理大型数据集,从而减少吞吐量时间。RPW-1000M由LEO客户支持,旨在满足研究和生产级别客户的需求。该资产配有一个完整的软件包库,用于自动晶圆测试和计量。KOBELCO/LEO RPW-1000M的耐用性和可靠性以广泛的工程技术为后盾,提供卓越的价值和可靠的性能。
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