二手 KOBELCO LTA 1000 #293591940 待售

KOBELCO LTA 1000是一种通用的晶圆测试和计量设备。它允许对芯片性能和特征大小进行详细分析,只需一毫米精度的一小部分。该系统由集成的分析软件包、光学计量视觉单元和高级显微镜组成。该软件采用用户友好界面，适合没有广泛背景知识的操作员使用。光学计量机允许使用放大/输出立体显微镜技术和数字信号处理器（DSP）对详细的三维（3D）表面进行非接触测量。其3D分辨率高达0.25 µm，能够对芯片特性进行高精度测量。此外，显微镜包含内置的图像识别和增强的过滤能力，以提高精度。KOBELCO LTA-1000支持多种测试方法，如电气和机械表征、物理表征和晶圆级缺陷检查。测量程序以参数测试为基础，以获取工艺条件和装置结构的信息。例如，参数测试可以提供接触电阻、总特征大小和芯片元件的覆盖精度等信息。特别是，该工具可以分析沉积材料的图像质量，如介电层。此外,LTA 1000还配备了数据记录功能,可以将测量的数据链接到特定部件和测试设置,以便于跟踪。资产还包含一个热传递模块，可以测量热扩散，这对于材料表征很有用。该模型进一步提供了运动和振动隔离，防尘盖和安全触摸操作设备。总体而言，LTA-1000是开发小型化部件不可或缺的工具，提供卓越的精度和精确度。它非常可靠，具有直观的控制和数据收集功能，能够更快、更好的晶圆产量。