二手 KOBELCO LTA-1512 #9314399 待售

KOBELCO LTA-1512是半导体和光电工业理想的晶圆测试和计量设备。它将各种测量系统结合成一个高精度、快速吞吐量和直观软件的平台，使用户能够在各种复杂程度上快速高效地测量基板。该系统基于自动测量工具（AMT）,它控制和管理其子系统,如光学系统和力学。光学系统包括图像传感器和能够测量晶圆光强度的光机械装置。光学机械装置还可以测量晶圆表面的电阻率。该单元的力学包括各种可调节的Z轴级和用于固定和操纵基板的模具。控制机使用图形用户界面（GUI）以及基于Windows的软件，使用户可以轻松调整所需测量的参数并可视化结果。LTA-1512配备了几种高精度、高吞吐量的测量系统。这些系统包括一个可变角度椭圆仪（VAE）、反射仪、散射仪和干涉仪，可以测量像折射率、反射率、散射、透射率和干涉这样的光学性质。为测量晶片表面的电阻率，刀具采用机械和电接触相结合的方法。此外,KOBELCO LTA-1512还具有3D光学轮廓仪（OP）。使用此资产，用户可以测量晶片的各种特性，如步高、划线和空隙。LTA-1512提供了一种创新和高效的方法来测试晶片具有高精度和吞吐量。凭借其易于使用的GUI和软件,用户可以轻松调整参数并可视化结果。其先进的光机械装置、高精度的测量系统，以及机电接触法相结合，让使用者即使是最複杂的晶片也能快速准确地测试。该模型非常适合半导体和光电行业，提供可靠、经济高效的测试，提高精度和吞吐量。