二手 KOCKS 4D Eagle #293605084 待售

KOCKS 4D Eagle是一种晶圆测试和计量设备，使制造商能够以无与伦比的精确度表征半导体晶圆的电气和物理特性。该系统旨在测量和分析难以用其他测试方法捕获的各种属性。它结合扫描电子显微镜、原子力显微镜、电分析、电化学分析等技术，测量尺寸、表面地形、电阻率、栅极泄漏电流、栅极电荷、电荷对电压、移动性、掺杂浓度、陷阱密度等特性。4D Eagle还提供了热点探测能力，可以定位造成缺陷的特征，准确分析周围区域材料的特征。该单元基于双光束剖面仪，可高精度测量地形特征。这样就可以研究晶圆表面的大小特征。此外，它还能精确测量材料的掺杂浓度。利用这些信息,可以使用适当的过程来调整曲面参数,以最大限度地提高设备性能。KOCKS 4D Eagle还包含一个先进的电化学分析仪，可以测量通过材料的电流以表征其电性能。这台机器采用原子力显微镜来捕捉纳米级材料的物理参数。它还配备了扫描电子显微镜来分析材料的表面地形。最后，该工具还包含一个集成缺陷审查资产，可以快速检测缺陷并识别其特征。这种审查模式允许调查微小缺陷，并查明其原因和采取行动解决这些缺陷。所有这些特性使4D Eagle成为目前最完整、能力最强的晶圆测试和计量系统之一。