二手 KOKUSAI VR-70 #9051391 待售
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KOKUSAI VR-70是一种晶圆测试和计量设备,设计用于串联晶圆级生产测试。它配备了先进的晶圆测量系统,能够对集成电路(IC)进行精确的2D和3D测量。该单元能够以高速和高精度完成晶圆检查和表面测量。该机适用于半导体生产线和实验室,具有高吞吐量和精密控制。VR-70可容纳直径可达8英寸的晶片,并具有无片状激光扫描仪,可实现2D和3D测量的亚微米分辨率精度。该工具能够用光学显微镜捕获表面和内部拓扑数据,并收集晶圆表面上设备的非接触式电气测试信息(RTD)。它还配备了高分辨率的数字显微镜,能够在扫描过程中对单个设备进行精确的观察和分析。KOKUSAI VR-70包括一个在线图像评估和分析应用程序,用于快速准确地识别各类晶片上的缺陷或屈服控制点。该资产还具有模具扫描功能,可自动、一致地测量过程步骤的中间阶段以及产品性能。这使制造商能够快速准确地调整和控制过程。VR-70为生产和工艺开发提供了完整的晶圆表征解决方桉,包括高精度厚度和表面粗糙度测量。其先进的数据捕获基础架构允许对晶片和设备进行静态和动态测量。该模型还与许多行业标准的计量和成像软件兼容,允许高效的数据采集和分析。最后,KOKUSAI VR-70为改进晶圆缺陷分析和产量控制提供了广泛的可视化和报告工具。它具有日志记录和故障通知功能,可用于主动过程控制。该设备还支持在外部数据库中自动备份和存储数据,以实现长期可追踪性并确保数据完整性。
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